본 장비 MCR용 모듈제작시 확산접합등에 사용되어지는 고온확산접합기입니다. 사용 용도는 고온/고압에 노출되는 미세유로 반응기 정밀 접합 장치입니다. 사용온도범위는 25도에서 1500도까지이며, 가용압력은 최대 30 톤 최저 1 톤까지 입니다. 장비의 구성은 챔버, 프레스, 진공펌프, 온도컨트롤러, 칠러 등으로 구성되어있습니다. * 특징 Chamber: Austenite STS, dual jacket chamber Temp Controller: PID 운전 가능, UP-550 Vacuum gauge : Pneumatic or Manual type / made by MONO : Digital type, 20 torr ~ 10-3 torr Rotary pump : 800 Liter/min, direct drive Diffusion pump : 10" 유압 unit : Max. 30 ton 냉각수 순환 Unit : 100 Liter/min, 2Kgf/Cm2, 25℃/h미만