OLED 물질의 순도를 높임.
1. 챔버용량 - 챔버크기 : 100(O.D) x 94(I.D) x 1800L x 3T 내외, Quartz tube 포함 - 이송수단을 구비한 승화정제장치
2.Furnace - 최대온도 : 600℃, 동작온도 : 400℃, Zone control : 9 Zone(Variable)
3.진공시스템 - Hi-vac : 3500L/sec, 동작 진공도 : 5 x 10-7 Torr 이하, Roughing pump : 600L/min - Gage filter 부착
4.액체질소 트랩 - Stainless steel chamber and inner liquid N2 vessel, dual trap 5.Sublimation chamber - Material spec. : Quartz Tube & Boat (이송수단 포함)
6.온도 조정기 - 온도균일도 : ±1%(heating zone 별로 분리제어), 온도조정 : Programmable controller, Touch screen : TFT color LCD display. USB interface function including.
7.Utilities - Pneumatic air : Pressure 5kg/㎠ 이상, Isolation valve : 15A ball valve, Chiller : 2 RT