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- i-Tube No. 1101-C-0040
- NTIS No NFEC-2011-01-138015
- 설치기관 (재)서울테크노파크
- 주소 서울 노원구 공릉동 172번지 서울테크노파크 604호
- 담당자 신소원 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
씨엔디플러스
-
모델 명
DAVID2010
내용연수9년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2011-01-10
취득금액262,286,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료8,000,010,000원
장비설명
Full auto 장비 - Photoressit coating & Develop Expose 공정은 개별 공정 진행. 1.HMDS: 110도, Hot Plate: 95도 and 110도 온도에서 공정 진행 2.Photoresist 사용 종류: 1) Thin: GXR601 - 1um ~ 1.4um 3.Develop: PR 에 적합한 Developer 사용 ( AZ400K and AZ300MIF ) 4. PR coating uniformity: thin PR - 0.5% 이하, Thick PR - 5%이하 5. 25매 동시 공정 가능 하며, coating 공정 시 develop 공정 동시 멀티 진행 가능
장비 구성 및 성능
Full auto 장비 - Photoressit coating & Develop
Expose 공정은 개별 공정 진행.
1.HMDS: 110도, Hot Plate: 95도 and 110도 온도에서 공정 진행
2.Photoresist 사용 종류: 1) Thin: GXR601 - 1um ~ 1.4um
3.Develop: PR 에 적합한 Developer 사용 ( AZ400K and AZ300MIF )
4. PR coating uniformity: thin PR - 0.5% 이하, Thick PR - 5%이하
5. 25매 동시 공정 가능 하며, coating 공정 시 develop 공정 동시 멀티 진행 가능
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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