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- i-Tube No. 1107-Z-0036
- NTIS No 2011-08-147635
- 설치기관 한국해양대학교산학협력단
- 주소 부산광역시 영도구 태종로 727,한국해양대학교 2동(동삼동)
- 담당자 양민 (T. 051-410-4782 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
마루 L&C
-
모델 명
GMC 1200
내용연수12년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2011-07-22
취득금액34,760,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
장비 구성 및 성능
Cathode : 2"(T-S distance adjustable, stroke 30mm, resolution<1mm)
power source: RF power 300W, auto matching network
process: process gas, Ar & O2
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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