맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- load-lock
- 로드락
- i-Tube No. 1003-F-0126
- NTIS No NFEC-2010-04-078802
- 설치기관 한양대학교산학협력단
- 주소 서울특별시 성동구 왕십리로 222,한양대학교내 한양종합기술연구원 110호(행당동)
- 담당자 안진호 (T. 02-2220-0407 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
㈜센토솔루션
-
모델 명
High-vacuum
내용연수10년
-
구분
주장비
용도 -
표준 분류
물리적 측정장비 > 힘/토크/압력/진공측정장비 > 압력/진공측정장비
-
취득일
2010-03-18
취득금액80,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
EUV 마스크를 검사할 수 있는 EUV CSM/ICS 설비의 in-situ 로드락 시스템 입니다.
장비 구성 및 성능
드라이, 터보 펌프 시스템. 6인치 상용 포토마스크 장착 지그. 자동 로드락척을 이용해 6" 상용마스크를 로딩하고 언로딩이 가능함^-5torr까지 고진공 유지가능
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
