전자현미경은 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자비임을 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 filament를 사용하는데, 이를 전자총 (electron gun)이라고 부른다. 전자총에 고전압이 걸리면 filament가 2700 K 까지 온도가 올라가서 filament의 끝부분에서 열전자(thermal electron)를 방출하게 된다. 발생된 전자를 가속하여 생긴 전자빔을 이용하여 시편을 관찰하므로 전자 probe와 전류의 크기를 제어하는 기술이 아주 중요하다. SEM은 가속전압이 1 kV에서 30 kV에 걸쳐 가변 전압을 사용하므로SEM 장비의 사용 중에 안정된 가속전압을 인가하는것은 아주 중요하다. 시료를 고분해능으로 분석을 하기 위해 시료를 놓는 스테이지의 마이크론 단위의 정밀한 기계적 제어 및 전자적 제어를 할 수 있게 설계하였고, 정밀 모터에 의한 스테이지 및 전자빔 제어에 의한 영상이동 및 회전기능 등이 지원된다.