직경 2인치 크기의 마그네트론 스퍼터 건 4개를 장착하고 있으며 RF 파워소스 3개를 구비하고 있음 (1개의 마그네트론 스퍼터건은 금속박막 증착용으로서 추후 DC 파워소스 1개를 추가 설치할 예정임). 스퍼터 챔버용 진공펌프로서 펌핑속도 650 L/M 이상의 로터리 펌프와 펌핑속도 450 L/S 이상의 터보 펌프를 사용하여 5x10-7 torr 이하의 진공도를 유지함.