SEM은 에너지가 큰 전자빔을 이용하여 미세구조의 물체를 분석하는 기기로서 Topography(물체 표면의 형상), Morphology(물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기), Composition(물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 조성과의 관계를 규명) 정보들을 얻을 수 있다. Topography