박리강도(Peel Strength)
- 재료의 박리강도(밀착성)를 정량화 Ｐ＝ＦＨ/ｗ (ｗ:칼날폭)　(ＦＨ:수평력)
전단강도(Shear Yield Strength)
- 박막의 강도를 정량화 (강도의 단계적 깊이방향해석) τ＝FＨ/2Ａcotφ(Ａ:단면적 φ:전단각)
분석 전처리(Profiling cut)
- 재료의 조성분석을 위한 경사 절삭 (경사절삭 후 FT-IR, Raman, TOF- SIMS, XPS, SEM, TEM, AFM, SPM, EPMA 등으로 분석)
Multi-layer 각 층의 박리강도와 전단강도 측정
이물 시료 채취(Micro-sampling)

-Display:0.01um
-Precision:100,500,1000 ±5 %
-Measurement range:1000um
-display:0.001N
-sensor:20N
-Horizontal velocity:0.02-50 um/sec
-Vertical velocity:0.002-5 um/sec
-measurement length:20mm
-measurement time:10-3600 sec