열 전자를 발생, 가속시키는 Eloctron Gun과 방출된 전자를 제어할 수 있는 전자기 렌즈, 전자가 시료와 충돌하여 방출되는 이차전자를 수집하는 SE detector, 그리고 검출된 이차전자를 통해 영상을 만들어내는 Display system(신호 수집기 및 Monitor), 영상 처리 및 장비 제어를 위한 PC로 구성