본 장치는 고진공 공정조건에서도 누설없이 공정이 가능케 하는 진공시스템(vacuum pumping unit, vacuum gauge controller unit)과, 최대 1300도까지 승온 및 유지한 상태에서 300mm 길이의 피복관에 일정한 온도 구현이 가능케 하는 공정챔버(process chamber module)로 구성되어 있다.또한 수소기체 및 아르곤 기체의 유량조절을 통한 챔버 내 분압을 조절할 수 있는 기체 유량제어 시스템(gas supply module, sample loading module)을 갖추고 있다.고진공 영역 5x10-7 Torr까지 진공성능 확인, 공정 챔버 내 1000도까지 승온 및 온도 유지 확인, 수소장입 조건 구현 확인