본장비는 Vacuum probe system 으로써 Base pressure는 1x10-7 Torr 이하이며, 저온 ~ 고온에 이르는 온도 조절 및 가변온도에 따른 data적립이 가능한 장비이다. 최대 Sample size 50mm X 50mm 측정이 가능하며, Heating시간은 48시간/ 온도 800K에서 부속품의 내구성 문제가 없도록 설계가 되어있다. Heating stage 및 Cooling stage는 100 mm X 100 mm 의 XY Movement가 가능하며, Top door 장착 Type의 XYZ Manipulator (4 ea)의 정밀조작으로 간편한 Operating이 가능하다. 추가로 Leakage performance 50fA 이하이며, 4 Point probe 와 기존 Probe station과 연계, PC Board control이 제작 되어있고, PC 및 PLC Control system이 구성되어 자동 제어가 가능하다.