장비특성 - 본 설비는 고순도의 GRAPHITE HEATER를 이용하여 고온의 가열 작용으로 진공 및 GAS분위기 중에 있는 제품의 열처리를 위한 설비로서 내부 분진이 최소화 될 수 있도록 후가공을 실시하며 내부의 균일한 온도분포와 제품 장입, 적출의 편리성과 효율성을 최대화 하도록 설계된 설비임. - 최대사용온도는 1800℃까지 사용가능하며 베이스 진공은 5 x 10-2 Torr 까지 가능한 장비 - LEAK RATE가 1 x 10-8 Torr/sec 가능하도록 냉각수 순환 이중 구조의 CHAMBER에 의해 가열구간이 유지되는 구조의 장비 - Ar, He, H₂등 다양한 가스 분위기에서 사용가능한 장비 - OVER TEMPERATURE에 대한 SAFETY 개념이 적용된 장비 - 냉각수가 없을 경우에 대한 SAFETY 개념이 적용된 장비 - 고순도의 GRAPHITE 재질을 사용하여 내부 분진이 최소화되는 장비 - 콤팩트한 외형 설계로 설치 공간이 최소화 될 수 있는 장비 구성 및 성능 소성로 진공 게이지 진공 펌프 온도 프로그램 사용예 소결체 장착후 온도프로그램 및 진공 펌프 구동 한글키워드 진공소성기 영문키워드 Vacuum Gas Furnace 장비의 원리 및 특징 금속지지체(3.5인치 이상) 소성 (진공 또는 수소분위기) 수소분리막(3.5인치 이상) 소성 (수소분위기) 기타 코팅막 열처리