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- Si Nano Particle Synthesis System using Controlled Inductively Coupled Plasma
- 유도 결합형 플라즈마 제어를 통한 실리콘 나노 입자
- i-Tube No. 1001-Z-0122
- NTIS No NFEC-2011-01-132039
- 설치기관 한국에너지기술연구원
- 주소 대전 유성구 장동 대전 유성구 장동 71-2
- 담당자 장보윤 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
네스트㈜
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모델 명
유도 결합형 플라즈마 제어를 통한 실리콘 나노 입자
내용연수5년
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구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2010-01-01
취득금액95,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
본 시스템은 플라즈마 분포 형상을 제어할 수 있는, 유도 결합형 플라즈마 (Inductively Coupled Plasma)를 이용한 수 나노 사이 즈의 고순도 결정질 실리콘 나노 입자 분말 합성 제조 장 치
장비 구성 및 성능
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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