Trumpf
4*250pF
4년
주장비
생산
전기·전자장비 > 전력발생장비 >
2010-03-31
50,000,000원
고정형
원
1. 용도
- 플라즈마 토치와 파워발진장치간 전력전달 및 임피던스 매칭 장치
2. 용도설명 :
고순도 함성석영유리 제조를 위한 청정 에너지원인 플라즈마 장치를 이용하기 위한장치의 한 부분.
플라즈마 에너지를 이용하므로 수소 등의 폭발위험성의 가스의 사용을 억제하므로
합성석영유리 내 수분 함량을 완전 제거함으로서 최종 Product를 6N이상의 초 고순도화 구현가능
1. 규격
Tank circuit
- 4*250 pF
- High Voltage co-axial supply
- Bus bar ground return
Faraday cage
- Designed for plasma torch
- Torch connectors
- Removable doors
- Interlock on door
- Peep hole
Electrical Switch
- Located inside RF generator
- Pneumatic activation position detector