전자빔 방출용량: 최대 100kw (30kV, 3.4A)
전자빔 집속 초점거리: 100~1,000mm (focus 5mm 이내)
-전자빔 발생장치 형태 : 시료 상부에서 입사시킬수 있는 형태(linear type)
-냉각방식 : 수냉식
-전자빔 집속 초점거리(출구로부터) : 100~1,000mm(focus 5mm이내)
-전자빔 방출타입 : Electron bombardment cathode self accelerating type
-cathode 수명 : 100,000시간 이상
-cathode 형상: 금속 양이온 스퍼터링에 의한 cathode의 형상이 변화하여서는 안됨
-전자빔 편향 각도 :X, Y 각각 최대 ±45도
-전자빔 주사기구 : X-Y, Scanning frequency는 각각 0~1kHz의 컴퓨터 패턴 구성 스캐닝 모드