Torch - Sheath Gas Flow Rate : 40~66 L/min
- Central Gas Flow Rate : 5~25 L/min
- RF power supply : 30 kw
- 운전 주파수 Input 범위 : 2~5 MHz
RF 열플라즈마 토치, RF 열플라즈마 Generator, 나노분말 합성 반응기, 나노분말 포집기 등.