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- 현상기
- i-Tube No. 1005-C-0102
- NTIS No NFEC-2011-01-137406
-
설치기관
공동기기원
(한국공학대학교 산학협력단)
- 주소 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 산업협력단
- 담당자 유미선 (T. 02-986-1202 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
TOKYO KAKOKI CO.,LTD.
-
모델 명
N327790
내용연수4년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2010-05-13
취득금액98,638,012원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료30,000원
장비설명
PCB회로 Pattern 공정 중 노광 공정에서 UV선이 조사되지 않아 경화되지 않은 부분을 화학약품(현상액)으로 용해 제거하여 기판에 경화된 Dry Film에 의한 회로를 형성시킴 .
장비 구성 및 성능
* 처리기판크기: Min. 250X250
Max. 610X610(mm)
* 처리기판두께 : 0.06 ~ 5mm
* 현상 용액 : 염화칼륨 ( K2CO3)
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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