본 표면 형상 장비는 크게 측정하는 변수는 다음과 같다.
1. 수직방향 단차 측정
: 나노박막과 일반 박막처럼 일정 두께 차이가 있는 경우 그 두께 차이를 측정할 수 있음. 일반적으로 50nm 이상 50um 이하에서 측정함.
2. 수평방향 단차 측정
: 표면 형상이 일정한 단차를 가지고 있는 경우 수평방향에 대한 단차를 측정하여 그래프화 할 수 있음. 일번적으로 1000um 이하를 측정함.
3. 스켄 속도에 따른 정밀 측정
: 표면형상측정시 단차가 매우 작은 경우 매우 정밀한 측정이 요구되며 이 경우 본 장비의 측정 속도를 제어하여 정밀한 단차측정이 가능함. 보통 20 um/min ~ 200um/min