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- i-Tube No. 1012-Z-0187
- NTIS No
- 설치기관 한국기계연구원
- 주소 대전광역시 유성구 가정북로 156 (장동, 한국기계연구원)
- 담당자 정준호 (T. 042-361-4917 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
Oxford Instruments Analytical Ltd.
-
모델 명
Plasma100
내용연수5년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2010-12-29
취득금액566,264,419원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료33,975원
장비설명
금속박막 에칭용 ICP -RIE
..................................................................................
장비 구성 및 성능
고진공펌프, 8" 기판 적용
CF4, SF6, C3F4, Argon, O2 등 개스 적용
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서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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