・구동방식: 공기압 베어링 정압구동 회전방식
・회전정도: 0.02㎛
・최대 적재경: ∅600 mm ・최대 측정경: 외경(570mm), 내경(420mm) ・회전체 상하 평행도: 0.5㎛/200mm,
・진직도 정도: 0.02㎛/100mm, 0.3㎛/400mm,
・측정력 범위: 0-100mN(10gf) 이내가변
1800㎛(탐침자 사용시)