과제명 :광기반 융합기술 인프라 구축사업
과제책임자 : 김왕기

MOCVD용 100kW RF Generator/Oscillator는 MOCVD P-II의 부속장비이다.
AIXTRON사의 AIX2600G3의 HEATER 역할을하는 장치이다.

장비명 : MOCVD용 100KW Generator/Osicillator
모델명 : TruHeat MF 7120


장비 SPEC
MAKER : Huettinger Electronic
Supplire : AIXTRON Korea
MAIN POWER Consumption :123.7 KVA
Possile mains voltages : 3 PHASE , AC 400/440/480
Main frequency : 50/60 Hz
Cooling Water Pressure : 5~8 bar



발진기. 신호발생기. 발진에 의한 진동은 시간이 지남에 따라 그 에너지가 줄어드는데 매 진동시
감소되는 양만큼 외부적인 에너지를 공급해줌으로써 그 진동을 일정진폭으로 계속 유지시키는 장치




본 mocvd는
- 적색 LED 구조의 에피성장 장비이며
- In, Ga, Al, P 계 의 원료가스를 사용하여 InGaP, AlGaP, InGaAlP 등의 재료를 고온에서 증착하여 p-n 구조 형성에 활용


출력 주파수 20~100㎑의 AC·MF전원 TIG20·100PSC, 고정도 모니터와 컨트롤 기술을 갖춘 RF전원 QINTO3013 광범위한 조정이 가능한 파라메터를 갖춘 DC전원 MP5/RMP10