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파크시스템스
XE-70
8년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2010-12-17
39,800,000원
고정형
원
시료와 탐침원자간에 작용하는 힘을 이용, 시료의 표면형상 측정
XY와 Z축 scanner 독립제어함으로써 2차원 곡률오차 최소화XY Scan range : 50x50 mm, Z Scan range : 12 mm Contact/Non-contact mode 측정