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- i-Tube No. 1003-C-0080
- NTIS No NFEC-2010-03-078556
- 설치기관 순천향대학교산학협력단
- 주소 충청남도 아산시 신창면 순천향대학교 읍내리 646번지 순천향대학교내
- 담당자 박환열 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
레이저앤피직스
-
모델 명
Laser Annealing
내용연수8년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2010-03-02
취득금액40,700,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
직접 방문 교육후 사용
장비 구성 및 성능
Excimer Laser Annealing 장비는 Excimer Laser의 부속 장비로 다음과 같은 광학시스템으로 구성됨 : fly eye lens, reflection mirror, focusing lens, expander, mask
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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