펄스 운전으로 증착하므로 증착량(콘덴서용량: 방전전압)을 독립제어하여 입자의 입경을 제어할 수 있으며 펄스로 나노입자의밀도의 제어도 가능하다. 증착하는 이온의 에너지가 높고, 분체표면과 나노 입자의 밀착성이 양호하기 때문에, 고온환경 하에서도 잘 응집이 안되는 특성이 있다.·아크 플라즈마 증착원：방전전압 : 70V~400V, 콘덴서 용량 : 1800uF 운전주파수 : 1~5Hz 타겟재질 : 철, 백금, 동등 여러 메탈재질