맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- Loadlock chamber Assembly
- 스퍼터용 로드락 챔버
- i-Tube No. 1010-C-0064
- NTIS No NFEC-2010-12-139537
- 설치기관 한국과학기술연구원
- 주소 서울 성북구 월곡2동 1~68 서울 성북구 하월곡2동 39-1
- 담당자 강종윤 (T. 02-958-6722 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
코리아바큠테크
-
모델 명
없음
내용연수8년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2010-10-12
취득금액30,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료100,000원
장비설명
스퍼터 챔버의 진공을 파괴하지 않고 시편을 로딩할 수 있는 시스템.본 장비는 rf 스퍼터의 부대시설로서 시편 로딩과 언로딩을 신속하게 할 수 있도록 도와주는 로드락 챔버이다.
장비 구성 및 성능
메인 스퍼터 챔버의 진공을 유지하며 시편 loading 시간 5분 이하로 가능. 3인치 웨이퍼까지 로딩 가능. 산화물 재료의 증착 자능한 박막의 두께는 주로 수십 nm에서 수백 nm 가능.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
