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- i-Tube No. 1003-A-0154
- NTIS No NFEC-2011-01-137467
- 설치기관 (재)충북테크노파크
- 주소 충청북도 청주시 청원구 오창읍 연구단지로 76 (양청리)
- 담당자 박동희 (T. 043-270-2000 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
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장비정보
-
제작사
칼자이스
-
모델 명
Supra60 Up-grade
내용연수11년
-
구분
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:전자주사현미경)
용도분석
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
-
취득일
2010-03-18
취득금액81,330,310원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료107,560원
장비설명
1. 반도체 소자 및 부분품 소재의 미세구조 분석 및 성분 분석 2. Electron Beam 을 시료 표면에 주사하여 방출된 Secondary Electron 을 이용하여 Multi thin layer 의 적층구조 및 초미립자 성분을 고분해능으로 분석
장비 구성 및 성능
1. Resolution : 1.0nm @ 15 kV, 1.7nm @ 1 kV, 4.0nm 2. Magnification : 12 - 900,000x 3. Accelerration Voltage : 0.1 - 30 kV 4. Probe Current : 4 pA - 10 nA (20 nA optional) 5. Chamber : 520 mm x 300 mm (h) 6. 6-Axes Motorised Super-Eccentric Specimen Stage 7. Image Processing : Resolution : Up to 3072 x 2304 pixel 8. EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) 9. WDX System
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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