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- i-Tube No. 1002-A-0184
- NTIS No NFEC-2013-08-182484
- 설치기관 (재)충북테크노파크
- 주소 충청북도 청주시 청원구 오창읍 연구단지로 76 (양청리)
- 담당자 박동희 (T. 043-270-2000 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
칼자이스
-
모델 명
AxioImager
내용연수11년
-
구분
부대장비(부가장치) (주장비:자동분석기)
용도분석
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 광학현미경
-
취득일
2010-02-10
취득금액70,211,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료66,190원
장비설명
- 공정중의 품질 과 Wafer 수입검사, 원부자재에 대한 품질 검사용 장비
- 불량분석을 하기 위한 반도체 inspection용 - 넓은 영역에 대한 Automatic socpe 시스템
장비 구성 및 성능
Objective Len : 5x, 10x, 20x, 50x, 100x Vertical Movement Range : 140mm Measurement Stage Range : 250x150mm Camera System : CCD Type Digital Camera 1.4M Pixel Software : Capture, Live Image, Measuring, Data Save
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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