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한국진공
모델명 없음
5년
주장비
시험
기타 > >
2010-05-25
51,922,200원
고정형
기타
0원
본 장비의 설명은 진공상태에서 박막의 증착 및 증착소스의 test를 위한 코팅용 chamber(DLC Coating chamber)이다.
본 장비 구성 및 성능은 DLC Coating chamber와 Control Panel로 구성되어 있다. 기판 이송용 Load Lock Chamber로 구성되어 있다.