배율 : x30 ~ 30,000x영상 : 2차 전자 영상(SE)빔 주사단계 : High Speed Mode, Low Speed Mode, Photo Mode 1, 2가속전압 : 10 ~ 30kV (10/15/20/30kV - 4 step)집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈비점장치 : 8 극 전자기장 형이차전자검출 : E-T Detector영상이동 : 4 극 전자기장형