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- i-Tube No. 1001-Z-0063
- NTIS No NFEC-2011-01-136540
- 설치기관 성균관대학교산학협력단
- 주소 경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 산학협력단
- 담당자 김윤식 (T. 031-290-5640 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Rich Air Separation Co., Ltd.
-
모델 명
BGPN69-100
내용연수5년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2010-01-07
취득금액201,931,442원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
반도체 공정장비에 필요한 고순도 질소를 생산하는 장비
장비 구성 및 성능
75HP 콤프레셔, 질소발생기, 고순도 질소 정화기 등으로 구성되어 있으며
1 ppm 이하의 고순도 질소를 생산함.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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