⦁ 10,000 class 혹은 그 이상의 청정실에서 가능⦁ 저장된 레시피를 통해, Rinse, Purge, 2 dry cycle을 자동으로 수행 ⦁ Di cleaning 공정 완료 후 wafer 및 기판에 유지 되어있는 용액을 장비를 통하여 건조를 시킴.&N&T&I&S&- 사용 가능 웨이워 사이즈 : 4인치, 6인치, 8인치.- 공급 유틸리티: N2 가스, DI Water.