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- i-Tube No. 1008-C-0025
- NTIS No NFEC-2011-01-137086
- 설치기관 (재)서울테크노파크
- 주소 서울 노원구 공릉동 172번지 서울테크노파크 604호
- 담당자 김경래 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Suss Microtec
-
모델 명
AltaSpray
내용연수9년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2010-08-17
취득금액278,995,530원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료70,000원
장비설명
장비: spray coater.
용도: PR coating
설명: 미세한 nozzle과 N2 압력으로 인해 PR이 미세한 크기로 spray 분사 되는 형식. 얇은 PR layer 형성&N&T&I&S&Specification:
Wafer size up to 8”
장비 구성 및 성능
2 separate spray dispense system
미세한 nozzle과 N2 압력으로 인해 PR이 미세한 크기로 spray 분사 되는 형식. 얇은 PR layer 형성&N&T&I&S&Specification:
Wafer size up to 8”
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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