1. 히팅시스템 (Heating System)
- 히터 컨트롤(Heater control) : 3 zone
- 히팅부 (Heater Zone) : 3 Zone
- 공정 웨이퍼(Process Wafers): 50매(Dummy 10매 미포함)
2. 컨트롤 제어장치
- 온도 컨트롤 : 3식(UP550 이상, PID 제어)
- Gas MFC control : 3MFCs(PC Control) 인터치 프로그램
3. Gas 공급장치
- Gas Line : 316L S/S (Electrode Polished)
- H2O Bubble system Ass'y : 1 system 용량 5L
4. Quartz Parts
- 공정 튜브 : 1 EA
- 공정보트(Process Boat) : 4",6",8" 각 1 EA