1. 하드웨어 음극 전원 공급 장치
펄스전력발전기+아크컴프레션, Dc전원장치 10kW, 모든컨트롤러, 케이블, 음극 전원 공급 장치는 능동 및 수동 전압 상승 시간과 고급 펄스 전류 직류 발전기를 사용하여 전력 펄스를 modulated 출력 진폭과 진동 제어, 마그네트론 증착 공정을 위한 고성능 아크억제 회로 등
2. 하드웨어에 대한 바이어스
직류 바이어스 전원 공급 장이 8kW, AC 입력 380V, 60Hz, 직류 출력 최대 전압 1,000V, 실제 최대 850V 이하로 사용 등