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- 고저항 터치패널용 투명전극제조장비
- i-Tube No. 1008-Z-0085
- NTIS No NFEC-2015-02-197645
- 설치기관 재단법인구미전자정보기술원
- 주소 경북 구미시 산동면 봉산리 구미국가산업단지 4단지 13블럭
- 담당자 김삼수 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
맥스필름
-
모델 명
RVS250
내용연수5년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
-
취득일
2010-08-24
취득금액323,900,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료80,000원
장비설명
Film Sputtering 연속 구동방식으로 다양한 필름상에 기능성 메탈 및 산화물 박막증착을 가능한 장비로 고저항 터치패널용 투명전극 제조장비.
- ITO/SiO2/Nb2O5 투명전극필름제조
장비 구성 및 성능
Film Sputtering 연속 구동방식으로 다양한 필름상에 기능성 메탈 및 산화물 박막증착을 가능한 장비로 고저항 터치패널용 투명전극 제조장비.
- Winding/Unwinding Roll,
- 칠러
- Pump (R/P, TMP)
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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