특징 wet chemacal solution을 이용한 cleaning 또는 texturing 공정 수행 구성및성능 캐미컬 베스, 컨트롤 박스, 순환조, 히터 활용분야 태양전지 용 wafer cleaning process (유기 물,metal 등), 태양전지 용 saw damage etching process, 빛 반사손실을 줄이기 위한 wafer 표면 exturization