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- i-Tube No. 1002-Z-0041
- NTIS No
- 설치기관 가천대학교 산학협력단
- 주소 경기 성남시 수정구 복정동 경원대학교 가천대학교산학협력단(전 경원대학교)
- 담당자 최형욱 (T. 031-750-5562 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
에이엠에스
-
모델 명
AEE-1000CO-DUAL
내용연수2010년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2010-02-24
취득금액86,020,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
이온빔 장치는 양성자,헬륨, 질소, 아르곤, 제논 등의 이온을 대량 발생시킨 뒤 수십 keV 이상으로 가속해서 물질 내에 주입하거나 조사하는 장치로서 유연소재의 불순물을 제거, 울퉁불퉁한표면을 매끄럽고 고르게 처리 가능함.
장비 구성 및 성능
이온빔 장치는 양성자,헬륨, 질소, 아르곤, 제논 등의 이온을 대량 발생시킨 뒤 수십 keV 이상으로 가속해서 물질 내에 주입하거나 조사하는 장치로서 유연소재의 불순물을 제거, 울퉁불퉁한표면을 매끄럽고 고르게 처리 가능함.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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