1. 광전자 에너지 분광기 1.1 형태 : 반구형 분광기 1.2 직경 : 250mm or equivalent 1.3 작동 모드 : CAE or equivalent 1.4 에너지 분석 범위 : 0 to 2,000eV or equivalent1.5 에너지 분해능 : 0.5 eV FWHM1.6 공간 분해능 : 30 μm1.7. 부도체에서 에너지 분해능 : C 1s energy resolution (eV) 0.85 eV 1.8 렌wm 형태 : Multi-element input lens or equivalent 1.9 분광기 하우징 : 자장차폐용 1.10 측정기 : 128-channel detector