키엔스코리아(주)
STAGE ALIGNMENT MARK DETECTING SYSTEM/VHX-600
8년
부대장비(부가장치) (주장비:)
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2009-07-14
35,200,000원
고정형
원
진공 챔버 내의 6" 반사형 EUV 다층 박막 마스크를 view port로 연결된 현미경을 통해 관찰함
현미경과 컨트롤 PC.극자외선 노광 검사계인 EUV CSM / ICS 장비의 구성품임.진공챔버내의 EUV mask의 XY축 정렬을 위한 현미경으로 Step repeatablity 측정을 위한 현미경으로통합스테이지의 위치를 확인할수 있는 장비