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- i-Tube No. 0905-F-0097
- NTIS No NFEC-2009-08-075742
- 설치기관 한양대학교산학협력단
- 주소 서울특별시 성동구 왕십리로 222,한양대학교내 한양종합기술연구원 110호(행당동)
- 담당자 안진호 (T. 02-2220-0407 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
(주)센토솔루션
-
모델 명
5-AXIS STAGE SYSTEM(CSM SAMPLE STAGE)/HIGH VACUUM용
내용연수10년
-
구분
부대장비(부가장치) (주장비:)
용도분석
-
표준 분류
물리적 측정장비 > 힘/토크/압력/진공측정장비 > 압력/진공측정장비
-
취득일
2009-05-21
취득금액115,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
6" 반사형 EUV 다층 박막 마스크를 진공 내에서 um resolution 으로 정밀하게 컨트롤 할 수 있음
장비 구성 및 성능
극자외선 노광 검사계인 EUV CSM / ICS 장비의 구성품임.원하는 위치의 마스크의 패턴및 결함을 검사하기 위해서 사용되는 스테이지로XYZ축 이동과 360도 회전이 되는 스테이지임0.1um의 정밀도로 움직일수 있고 6인치 마스크를 로딩할수 있음고진공에서 동작이 가능하고 최대 200mm 마스크 위치 이동이 가능함
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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