케이오에스
진공용 CCD 디텍터(CSM OPTICAL PART)/PI-MTE 2048 B
11년
부대장비(부가장치) (주장비:)
분석
광학·전자 영상장비 > 카메라/영상처리장비 > 달리 분류되지 않는 카메라/영상처리장비
2009-05-20
91,650,370원
고정형
원
6" 반사형 EUV 다층 박막 마스크의 패턴 형상을 진공 상태에서 실제 극자외선 노광기와 동일한 조건인6도 사입사되는 13.5nm 의 EUV 파장으로 검사할 수 있음진공상태에서의 X-ray를 검출할수 있고 빛과 전기에 민감해 노이즈 차단기술이 필요함구성및성능
극자외선 노광 검사계인 EUV CSM / ICS 장비의 구성품임.-50도까지 온도조절이 가능하고 고진공에서 반응하는 CCD