맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- Sputter
- 스퍼터
- i-Tube No. 0908-C-0105
- NTIS No NFEC-2009-11-077193
- 설치기관 한양대학교산학협력단
- 주소 서울특별시 성동구 왕십리로 222,한양대학교내 한양종합기술연구원 110호(행당동)
- 담당자 박재근 (T. 02-2220-0234 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
ULVAC
-
모델 명
ENTRON-EX for STT-MRAM
내용연수12년
-
구분
주장비
용도 -
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2009-08-28
취득금액3,549,294,490원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
장비 구성 및 성능
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
