X-선 guide tube를 사용하여 10um까지 집속
집속 X-선을 조사시켜 발생되는 X-선 형광을 측정하면서 시료를 이송하여 2차원 원소 분석
X-선 guide tube 및 CCD 카메라를 이용하여 광학 이미지를 관찰하면서 원하는 정확한 위치의 원소 분석
최소 10 μm에서 최대 10 cm x 10 cm까지 분석이 가능
대기 상태에서 측정이 가능하므로 시료 건조 등의 전처리 없이 측정이 가능
X-선 투과 이미지 측정도 가능하여, 시료의 내부 구조 분석 가능