특징 - Cracking Se의 연속 공급 장치 - cracking 을 통해 Se cluster 를 분쇄하여 Se과 전구체의 반응성을 향상시킴 - Se 증발 온도, cracking 온도를 개별적으로 조절하여 Se 공급량을 미세하게 조절가능함 - 재현성이 우수함 - 한번의 Se 충진으로 수개월간의 시험 수행 가능 구성및성능 - Se 저장소 - Se effuser - cracker 활용분야 - CIG 전구체를 Se 분위기에서 열처리 하여 CIGS 제조 - Se 분위기에서의 열처리 및 상온에서의 Se 박막 제조 - CIGSe, CIGSSe 및 CZTSe, CZTSSe 등 다양한 Selenide 계열의 광흡수층 제조 가능 - RTP 열처리 장비와 결합하여 cracked Se/급속 열처리의 공정 구현 가능 - 정밀하고 재현성 있는 셀렌화 공정 구현 가능