2. 규격
① 주 장치
Magnetic enhanced ion gun (Discharge voltage: 250V~3000V, Beam energy: 150eV ~ 1500eV, Discharge current: <2A)
- Max power:6kW
- Operating Pressure: 0.7~3 mTorr
- Size : 250(h) x 108(w)
- 코팅균일도: 250mm 이내 ± 3%
- 사용가능한 가스: Ar, N2, O2, C2H2, CH4, SiH4, H2, etc
- 전원: 출력 DC 6KW, 3000V, 6A (USA, AE)
② 악세사리
High density Arc gun (max current: 200A, 사용개스: 상동)
- Operating Pressure: ≤0.1 mTorr
- 코팅균일도: Φ90mm 범위 내에서 ± 3%
- 증착율: 50~100nm/min
- 전원 : 220V 12A 3p 입력/ 출력 DC 5KW , 50V, 200A