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- i-Tube No. 0909-Z-0099
- NTIS No NFEC-2011-02-142401
- 설치기관 한국세라믹기술원
- 주소 경기 이천시 신둔면 경충대로 3321
- 담당자 황광택 (T. 031-645-1431 )
- 매뉴얼
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온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
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제작사
우성하이백
-
모델 명
400x400, DC/RF dual sputter, HF bias, 처리면적 150x30
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
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취득일
2009-09-09
취득금액79,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료0원
장비설명
- 다성분계 산화물 고팅용 Dual source Type 스터터링 장치
- 고주파 펄스형 Bias 장치를 통한 성분 치밀막 형성
- 2-Fold 시스템을 통한 균일막 형성
- 150mm급 원통형 샘플 전면코팅
장비 구성 및 성능
- Chamber : Φ400*400, Door type, SUS304
- Pump : TMP(800L/sec), Rotary(1,000L/min)
- Source : Magnetron sputter 1(2) set
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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