구성및성능
◆ Specification
- Pressure Control Range : 1 ~ 760 torr
- Base Vacuum : 5 x 10-3 torr
- Chamber 내부 크기 : 560Ø x 500L (mm)
- Vibrator의 진동주파수 : 1 ~ 10 Hz Controllable
- Moving Stage :
¤ X 축 : Stroke 150 mm, 정밀도 0.01 mm, 이송속도
1 ~ 100 mm/min
¤ Z 축 : Stroke 100 mm, 정밀도 0.1 mm, 수동조절
- 막 증착 성능 :
¤ 증착 속도 : 1 시간 이내 1 μm
- Power : 380 / 220V 3상 4선식 20 kW

◆ Vacuum Chamber
- 재질 : SUS 304 Plate (두께 5t / 표면 연마)
- 방식 : Front Door 개폐식 / O-ring Seal 관찰창 포함
- Chamber Ports :
¤ 진공 & 압력 게이지 포트 : NW 25 2 ea
¤ Gas In Port : 1/4“ Lock-type Fitting 용접
¤ View Port : 강화 유리 / 직경 100 mm
¤ Gas-Out Port : NW 50 3 ea
- Door Open : Air Cylinder + 공압 Unit 1 set

◆ Gas System
- Regulator : He / Oxygen / Nitrogen 0 ~ 10 kgf/cm2 1 set

- Valve : Stainless Steel Valve 9 ea
¤ Solenoid Valve 5 ea
¤ Ball Valve 4 ea
- M.F.C. : Mykrolis FC280 Model
¤ He 40 s.l.p.m. 1 ea
¤ O2 40 s.l.p.m. 1 ea
¤ N2 40 s.l.p.m. 1 ea
¤ Accuracy : 1% of Full Scale
¤ Shut-Off : 2% of Full Scale
- Check Valve : Hy-Lok, 1/4“, 1 psi 3 ea
- 1/4“ SUS Tube, BA Grade 10 m
- 1/4“ Lock-type Fitting 30 ea

◆ Pressure Control System
- Vacuum Gauge : INSTRUTECH Convectron Gauge, 0.001 ~ 200 torr
- Pressure Gauge : KVC, Analog 방식
¤ Range : 1 ~ 1500 torr
¤ Material : Teflon Lining
¤ Output : 4 ~ 20 mA
- Booster Pump : LEYBOLD, Model WAU-251, 5000 l.p.m 1 set
- Vacuum Pump : Woosung Oil-Rotary Pump, 1500 l.p.m. 2 set
- Oil Mist Trap 2 ea
- Powder Filter 1 set
- Angle Valve, NW50, Pneumatic 1 ea
- Stainless Steel Pipe 배관 1 set

◆ Vibrating System
- DC Power Supply, 50 W (Controller 포함) 2 set
- Powder Cup : Stainless Steel Bottle 500cc 2 set
- Cup Holder + Motor Casing 2 set
- r.p.m. Display : P.C. Monitor
- Powder 정량공급용 Feeder 부착

◆ Nozzle & Sample Holder :
- Nozzle : 6 set
¤ 재질 : Stainless Steel

¤ W 0.4 x D 20 mm Slit 가공 2 ea
¤ W 0.4 x D 60 mm Slit 가공 2 ea
¤ W 0.4 x D 100 mm Slit 가공 2 ea
¤ 1/4“ Lock-type 연결부 2 ea
- Sample Holder
¤ 재질 : Stainless Steel (표면 연마)
¤ 크기 : 직경 120 mm
- Nozzle 분사각도 : 0o, 15o

◆ Substrate Heater
- 크기 4“Φ / 재질 SiC
- 상용온도 : 500℃
- 동작시간 : 30분 이내 (Chamber의 과열 방지)

◆ Moving Stage
- Stepping Motor : Autonics, Model A50k-M566-GB10 1 ea
5-phase, 0.72o/step,
- Stepping Motor Driver, Model MD5-MF4 20 W 1 ea
- Linear Motion Guide + Rack Gear 1 set

◆ Chassis
- 40 x 40 Aluminum Profile 30 m + 조립 부품
- 분체 도장 Carbon Steel Plate
- Foot Master (바퀴 + 고정장치) 4 ea
- Control Box : 19“ Rack Type

◆ Controller : P.C. Control 및 Data Log-In
- Control Panel : W483 x D300 x 2t
- Over-Temperature Safety : Magnet 구동 방식
- 개스 압력 저하 경보 : 접점식 압력계 3 ea
- Industrial Computer
- Motion & Digital In/Out PCI Card, Maker National Instrument

- Motor 이상 : E.O.C.R. 3 ea
- Switches / Buttons / 기타 배선 부품
- 17“ LCD Monitor 1 ea
- M.M.I. (Man & Machine Interface) Software
¤ Valve / Pump On / Off 기능
¤ Pressure Monitoring & Data Saving 기능
¤ Moving Stage 위치 및 속도 조절 기능