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- i-Tube No. 0912-Z-0239
- NTIS No NFEC-2009-12-077660
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 경기도 안산시 상록구 항가울로 143
- 담당자 남창우 (T. 031-8040-6091 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
(주)파크시스템스
-
모델 명
XE-70
내용연수5년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2009-12-15
취득금액74,020,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
15,421원
장비설명
사양 -AFM controller and Data acquisition system -Flexure-based XY scanner with closed-loop feedback control (>50 um x >50 um) -Scanning Z head (>10um) -고해상도 optical microscope (Digital CCD camera) - Data acquisition software
장비 구성 및 성능
표면의 roughness, topology, hardness 등을 측정하는 장비
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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