재성엔지니어링
SPIN-5000A
5년
주장비
시험
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2009-12-15
63,820,000원
고정형
13,296원
사양- 회전속도 : 100 ~ 3000 rpm- Spin state : 20steps- Vacuum chuck - Vacuum Pump- Nozzle특징본 장비는 감광재를 350mm X 350mm이상의 크기까지 스핀 코팅이 가능하게해 대면적 UV-lithography 와 Electroforming 공정이 가능하게하는 공정장비이다.
코팅하고자 하는 시료를 회전시켜 그때 생기는 원심력으로 박막을 균일하게 도포